超純水是指電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

　　由于是超純水，其緩沖能力特別弱，因此極易受到污染并改變其pH值。如果將2ppm雜質混合到純水中，pH值變化尤其明顯。一般來說，在實際pH測量中，影響主要來自電解質泄漏到超純水中對pH值的影響，以及溶解在純水中的空氣中CO2的影響。無論哪種情況，測量結果都不是超純水的pH值。

　　18.2MΩ·cm的超純水，其清潔度已達到極限(總鹽濃度低于1ppb)。在這種情況下，只有可以導電的[H+]和[OH-]留在水中，此時，盡管空氣中的二氧化碳濃度僅為0.035%(350ppm)，但它可以與水發(fā)生化學變化。當超純水開始暴露在空氣中時，二氧化碳的溶解將不可避免地繼續(xù)，超純水pH值將從7(中性)持續(xù)下降。在大約一小時內，pH值將降至5.7，并在兩天的時間內緩慢降至約4.7。

　　檢測超純水的pH值不能證明水質好壞。在可受二氧化碳影響的pH范圍內，任何pH讀數(shù)只能指示二氧化碳溶解和碳酸分解的程度，但并不代表任何意義。如果pH讀數(shù)為堿性，則表明電極可能有問題(電極膜污染或老化、鹽橋堵塞、參考液污染等)。如果要測量超純水的pH值，相當于讓pH計在極端條件下工作，這對pH計的工作能力是一個巨大的挑戰(zhàn)。不建議使用pH計來檢測水質。由于涉及的因素太多，不接觸空氣在線檢測超純水的電導率(或電阻率)是一種更準確、更穩(wěn)定的方法。

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